真空泵機組一般由下列元件(jian)構成：各(ge)種；真空(kong)測量裝置；真空(kong)閥門(men)；真空(kong)管道和(he)一些其它元件(jian)，例如撲集器(qi)、真空(kong)接頭、儲氣(qi)罐、波紋管、除塵器(qi)和(he)真空(kong)繼電器(qi)等(deng)。

　　按機組的工作壓力分，有粗真空泵機組(>1330Pa)；低真空泵機組(1330~0.13Pa)；高真空泵機組(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空泵機組(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；極高真空泵機組(<1.2×10-11 Pa)。
用于較高真空的羅茨真空泵(機械增壓泵)不能直排大氣，如直排大氣會造成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機功率又會造成羅茨真空泵過熱以致羅茨真空泵轉子之間的微小間隙很快因熱膨脹而卡死。為保證羅茨真空泵能達到較高真空必須保證羅茨真空泵轉子之間的間隙。所以羅茨真空泵使用時必須設有前級泵，用前級泵將系統內壓力抽至一定范圍內時再啟動羅茨真空泵，如此可以避免羅茨真空泵過載。前級泵可以選用水(液)環式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復式真空泵等可直排大氣的真空泵。
羅茨真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)機(ji)組(zu)在一般情況下，選用水環泵(beng)(beng)(beng)作為前(qian)級泵(beng)(beng)(beng)比其它真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)更為有利，這(zhe)主要是(shi)由于它能(neng)夠(gou)抽除大(da)量的可凝(ning)性(xing)蒸汽，特別(bie)是(shi)當氣鎮油封機(ji)械真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)排(pai)除可凝(ning)性(xing)蒸汽能(neng)力不夠(gou)，或使(shi)用的溶(rong)劑(ji)能(neng)使(shi)泵(beng)(beng)(beng)油惡化而影響性(xing)能(neng)，或者是(shi)真(zhen)空(kong)(kong)系統不允許油污染(ran)的時候更為明顯。

低真空泵機組的主(zhu)要特點是工作(zuo)壓力(li)高，排氣(qi)量(liang)大，但抽速比高真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)機(ji)組(zu)低。多用于真(zhen)空(kong)(kong)室的粗抽以及放氣(qi)量(liang)很(hen)大，工作(zuo)壓力(li)較高的真(zhen)空(kong)(kong)輸(shu)送、真(zhen)空(kong)(kong)浸漬、真(zhen)空(kong)(kong)過慮、真(zhen)空(kong)(kong)脫氣(qi)、真(zhen)空(kong)(kong)干(gan)燥(zao)等(deng)裝置中。低真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)機(ji)組(zu)的主(zhu)泵(beng)常用往復式真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)、油(you)封真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)、水(shui)噴射泵(beng)、水(shui)蒸汽噴射泵(beng)、水(shui)環泵(beng)、油(you)蒸汽噴射泵(beng)、分子(zi)篩(shai)吸附(fu)泵(beng)和羅茨泵(beng)等(deng)。使(shi)用低真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)機(ji)組(zu)，還需要根據(ju)被抽氣(qi)體(ti)的清(qing)潔程度、濕度等(deng)工藝要求，配(pei)置除塵器、干(gan)燥(zao)過慮器等(deng)元件。例如我廠(chang)生產的JZJB,JZJ2B,JZJS等(deng)羅茨水(shui)環真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)機(ji)組(zu)

高真空泵機組例如JZJX,JZJP型(xing)羅(luo)茨旋片真空(kong)泵機組等。

　　②選好預抽泵、儲氣管(防震、縮短工作周期、防止真空室內瞬間大量放氣、穩定擴散泵出口壓力)
超高真空泵機組

　　④低溫泵機組：無污染。
因超高真(zhen)空泵機組(zu)(zu)造價成本較高，組(zu)(zu)裝構(gou)造構(gou)成較嚴(yan)格(ge)，現逐漸被羅茨旋片(pian)真(zhen)空泵機組(zu)(zu)所取代。但是在極其嚴(yan)格(ge)的(de)工作環境要求(qiu)下還是又一定量的(de)需(xu)求(qiu)。

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