低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。
按照低(di)(di)溫介(jie)質的(de)供(gong)給(gei)方(fang)式，低(di)(di)溫泵分(fen)為三(san)種(zhong)類(lei)型：
流程低溫泵
泵中低(di)(di)溫(wen)板(ban)冷(leng)(leng)卻管和(he)制(zhi)冷(leng)(leng)膨脹機相聯接，低(di)(di)溫(wen)介質(氣(qi)氦)通(tong)過外管路(lu)供(gong)給低(di)(di)溫(wen)泵，吸收(shou)低(di)(di)溫(wen)板(ban)熱量后再(zai)回到制(zhi)冷(leng)(leng)壓縮機，形成封閉循環(huan)(huan)，這種低(di)(di)溫(wen)泵的體積(ji)龐(pang)大(da)、管路(lu)復雜(za)、管路(lu)冷(leng)(leng)損較大(da)。優點是制(zhi)冷(leng)(leng)功率大(da)，最適宜抽除(chu)大(da)氣(qi)量或(huo)大(da)型(xing)真(zhen)空室，廣泛用(yong)于空間環(huan)(huan)模設備、受控(kong)熱核反應(ying)裝置、火箭發動機高空點火試驗(yan)以及低(di)(di)壓空氣(qi)動力學試驗(yan)等。
貯槽式低溫泵
低溫(wen)介(jie)質(液氦)直(zhi)接注入泵內貯槽，使(shi)氣(qi)體冷凝(ning)達到抽(chou)氣(qi)目(mu)的(de)。其優點(dian)是泵的(de)體積小、無振動(dong)、無噪聲、操作(zuo)簡(jian)便，適用于大(da)(da)專院校(xiao)及科(ke)研單位和高(gao)能加速器等大(da)(da)型真空工程。缺(que)點(dian)是運轉(zhuan)費用高(gao)，每(mei)次加注低溫(wen)介(jie)質的(de)使(shi)用時間短，需(xu)長(chang)期(qi)連續運轉(zhuan)的(de)真空系(xi)統(tong)要定期(qi)補充工作(zuo)介(jie)質，并且受到低溫(wen)介(jie)質供應條件的(de)限制(zhi)。
小形冷卻機溫度泵
閉間歇小款制冰儀器空調機地溫泵是由地溫泵體、抽氣地溫板、幅射手機屏蔽板、制冰儀器空調機和再空壓機等位置主成。和流量地溫泵的很大不一樣是制冰儀器空調機一、二級考試冷頭隨時和幅射屏、冷板連在一起，在制冰儀器空調機與再空壓機相連聚氨酯保溫管中流動性的是高濕、高(或低)壓有機廢氣氣體物質，不存有地溫物質的推送疑問，兼備流量地溫泵和貯槽式地溫泵的特征，是近年來十分理想的的干凈的高水準蒸空泵。廣泛的用以聚酰亞胺膜制作、微微電子技藝學技藝、高激光力學、小款環模儀器或者另一個各工業制造研究方向。
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